otchet
Запись диффузионной модели в виде ящика
D z
T
Модель C(x)
t
Внешняя среда
Рисунок 2. Диффузионная модель в виде ящика
Входные параметры:
– коэффициент диффузии
µ - подвижность,
– постоянная Больцмана,
– элементарный заряд,
T – температура,
t – время.
Выходные параметры:
С(х) – распределение дифундирующего
вещества
-
Построение в EXCEL графиков Аррениуса для коэффициентов диффузии бора, фосфора, мышьяка и сурьмы в кремниевой пластине и определение коэффициента диффузии этих примесей по графику для Т=1000°С
|
|
|
|
|
|
Содержание
- Вывод обыкновенного уравнения диффузии:
- Запись диффузионной модели в виде ящика
- 1.4 Анализ диффузионной модели:
- 1.5 Учет влияния электрического поля на процесс диффузии примеси:
- 1.6 Графики распределения концентрации примеси для трех временных значений - случай, когда доза постоянна и не связана с диф. Длинной